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两种不同气源制备的高氢含量aSi_(1-x)C_x∶H薄膜的微结构及其热稳定性研究 期刊论文
真空科学与技术, 2001, 期号: 04, 页码: 80-85
作者:  刘玉学;  刘益春;  申德振
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：411/60  |  提交时间：2013/03/11
A-si1xcx∶h  电子自旋共振  红外光谱  透射反射谱  退火