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Bilateral control-based compensation for rotation in imaging in scan imaging systems 期刊论文
Optical Engineering, 2015, 卷号: 54, 期号: 12, 页码: 10
作者:  Tian, D. P.;  Y. T. Wang;  F. C. Wang and Y. P. Zhang
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Calibrating the pupil fill balance for hypernumerical aperture lithographic objective 期刊论文
Optical Engineering, 2015, 卷号: 54, 期号: 9, 页码: 6
作者:  Rui, D. W.;  W. Zhang and H. J. Yang
浏览  |  Adobe PDF(7029Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：279/99  |  提交时间：2016/07/15