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投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 11
作者:  张巍;  巩岩
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小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 10
作者:  尼启良;  刘世界;  陈波
caj(231Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:494/76  |  提交时间:2012/09/25
弯月镜结构补偿镜的折反型望远系统 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 2
作者:  刘伟奇;  冯睿
caj(848Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:325/59  |  提交时间:2012/09/25