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亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作 期刊论文
光子学报, 2003, 期号: 06, 页码: 653-656
作者:  曹召良;  陆广;  王吉增;  杨柏;  卢振武;  李凤有;  任智斌;  刘玉玲
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离子束刻蚀  亚微米  离子能量  束流密度  刻蚀速率  表面光洁度  
二元光学透镜在超光谱成像仪中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 157-161
作者:  于斌;  曹召良;  禹秉熙
caj(162Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:503/76  |  提交时间:2013/03/11
超光谱成像仪  二元光学透镜  成像光谱仪  折衍混合透镜  离子束刻蚀