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均匀软X射线多层膜制备方法研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2003, 期号: 05, 页码: 444-446
作者:  金春水;  林强;  马月英;  裴舒;  曹健林
caj(49Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/75  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜  磁控溅射  均匀性  
软X射线投影光刻技术 期刊论文
强激光与粒子束, 2000, 期号: 05, 页码: 559-564
作者:  金春水;  王占山;  曹健林
caj(131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：430/75  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  投影光刻  集成电路  
提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟 期刊论文
强激光与粒子束, 1999, 期号: 01, 页码: 27-30
作者:  柯常军;  王占山;  张铁强;  曹健林;  陈星旦
caj(71Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：451/70  |  提交时间：2013/03/11
非周期多层膜  软x射线  随机数  积分反射率  
正入射软X射线显微成像系统聚光镜设计 期刊论文
强激光与粒子束, 1998, 期号: 01, 页码: 31-35
作者:  王占山;  曹健林;  陈星旦
caj(73Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：327/45  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  显微成像系统  聚光镜  掠入射