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Mo/B_4C软X射线多层膜结构特性研究 期刊论文
光子学报, 2000, 期号: 05, 页码: 459-461
作者:  吕俊霞;  马月英;  裴舒;  陈星旦;  曹健林
caj(77Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/61  |  提交时间：2013/03/11
Mo/b_4c  多层膜  软x射线  
用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能 期刊论文
光子学报, 1995, 期号: 03, 页码: 249-257
作者:  郭玉彬;  李福田;  唐九华;  李加;  慎微;  杜涌兴
caj(247Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：418/83  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  近贴式  光刻胶  光刻术