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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
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氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
航空相机焦面组件相变温控设计及验证 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2060-2067
作者:  郭亮;  吴清文;  丁亚林;  张洪文;  张继超;  冷雪;  李延伟
caj(935Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：474/129  |  提交时间：2014/03/07
航空相机  焦面组件  相变温控  热设计  热分析  热试验