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磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究 期刊论文
机械设计与研究, 2004, 期号: 01, 页码: 77-80+9
作者:  王延风;  卢志山;  宋文荣;  田兴志;  何惠阳
caj(92Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：440/76  |  提交时间：2013/03/11
Cad/cae  磁悬浮  光刻  定位精度  有限元方法  电磁场分析  模态分析和测试  
对有限元分析结果判定方法的探讨 期刊论文
机械设计与研究, 2003, 期号: 06, 页码: 13-15+6
作者:  吴晓宇;  吴清文;  杨洪波;  何惠阳
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/78  |  提交时间：2013/03/11
有限元结果  模态试验  判定