Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究 | |
| 王延风; 卢志山; 宋文荣; 田兴志; 何惠阳 | |
| 2004-02-29 | |
| 发表期刊 | 机械设计与研究
 |
| 期号 | 01页码:77-80+9 |
| 关键词 | Cad/cae 磁悬浮 光刻 定位精度 有限元方法 电磁场分析 模态分析和测试 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28523 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王延风,卢志山,宋文荣,等. 磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究[J]. 机械设计与研究,2004(01):77-80+9. |
| APA | 王延风,卢志山,宋文荣,田兴志,&何惠阳.(2004).磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究.机械设计与研究(01),77-80+9. |
| MLA | 王延风,et al."磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究".机械设计与研究 .01(2004):77-80+9. |
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| 磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD_CAE（92KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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