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一种角度自适应抛光磨头 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110452754.7, 申请日期: 2014-01-15, 公开日期: 2014-01-15
发明人:  王君林;  王绍治;  刘健;  马占龙;  张玲花
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高真空环境下实现液体样品池厚度微量可控装置及其控制方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  卢启鹏;  彭忠琦;  邰仁忠
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用于超高真空中实现转角精密传动的装置及其控制方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-28, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  彭忠琦;  卢启鹏;  金春水
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