高真空环境下实现液体样品池厚度微量可控装置及其控制方法 (发明)

	高真空环境下实现液体样品池厚度微量可控装置及其控制方法 (发明)
	卢启鹏; 彭忠琦; 邰仁忠
	2012-05-02
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	高真空环境下实现液体样品池厚度微量可控方法及装置涉及精密测量领域，包括三个压电陶瓷真空密封接线座、三个压电陶瓷、三个不锈钢球、真空密封圈、支座、两个硅片窗口、三个高磁通量磁铁和密封板，所说的压电陶瓷装在压电陶瓷真空密封接线座的底端，不锈钢球装在压电陶瓷的底端，支座上开有三个互成１２０°的螺纹孔，支座径向上与螺纹孔对应的……
资助项目	102436267A
申请号	201110346173.5
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12097
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	卢启鹏,彭忠琦,邰仁忠. 高真空环境下实现液体样品池厚度微量可控装置及其控制方法 (发明)[P]. 2012-05-02.