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Design and Measurement of Radiometric Performance of Ultra-Large Aperture Uniform Light Source 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 4
作者:  Zhang, Z.;  X. Li;  Z. Wan;  J. Sun;  H. Liu;  Z. Liu;  Y. Wang;  J. Ren and J. Ren
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Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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