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Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
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Realizing assisted alignment of three-mirror reflecting optical system by using wavefront sensing test results of phase diversity 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 7
作者:  Cheng, Q. and D. Xue
浏览  |  Adobe PDF(536Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/108  |  提交时间：2017/09/11