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Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
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Yaw angle correction of grating line based on single piezoelectric actuator 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  Li X.-T.;  Qi X.-D.;  Yu H.-L.;  Gao J.-X.;  Feng S.-L.;  Bayanheshig
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