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光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 46-48+45
作者:  齐克奇
caj(2025Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：515/110  |  提交时间：2013/03/11
光刻物镜波像差检测平台  针孔定位  自解耦  有限元方法