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23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者:  刘震;  李旭;  马月英;  陈波;  曹健林
caj(422Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：399/118  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  多层膜反射镜  磁控溅射  X射线衍射仪  反射率计