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投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 11
作者:  张巍;  巩岩
caj(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:403/61  |  提交时间:2012/09/25
激光直写系统焦斑整形的研究 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 01, 页码: 14-18
作者:  李凤友;  李红军;  卢振武;  廖江红
caj(104Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:417/68  |  提交时间:2013/03/11
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