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GaAs外延层蒸镀Cr和Au膜制作欧姆接触工艺 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 02, 页码: 84-87
作者:  杨晓妍
caj(145Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：375/67  |  提交时间：2013/03/11
欧姆接触  光刻  外延