Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| GaAs外延层蒸镀Cr和Au膜制作欧姆接触工艺 | |
| 杨晓妍 | |
| 1995-04-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 02页码:84-87 |
| 关键词 | 欧姆接触 光刻 外延 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32096 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨晓妍. GaAs外延层蒸镀Cr和Au膜制作欧姆接触工艺[J]. 光学精密工程,1995(02):84-87. |
| APA | 杨晓妍.(1995).GaAs外延层蒸镀Cr和Au膜制作欧姆接触工艺.光学精密工程(02),84-87. |
| MLA | 杨晓妍."GaAs外延层蒸镀Cr和Au膜制作欧姆接触工艺".光学精密工程 .02(1995):84-87. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| GaAs外延层蒸镀Cr和Au膜制作欧姆接（145KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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