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High-performance etching of multilevel phase-type Fresnel zone plates with large apertures 期刊论文
Optics Communications, 2018, 卷号: 407, 页码: 227-233
作者:  Guo, C. L.;  Zhang, Z. Y.;  Xue, D. L.;  Li, L. X.;  Wang, R. Q.;  Zhou, X. G.;  Zhang, F.;  Zhang, X. J.
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Fresnel zone plate  Diffractive optical elements  Etching depth  uniformity  Ion beam etching  Dwell time algorithm  dwell-time algorithm  dielectric gratings  fabrication errors  x-ray  ion  Optics