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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Generation of Color Images by Utilizing a Single Composite Diffractive Optical Element
期刊论文
MICROMACHINES, 2018, 卷号: 9, 期号: 10, 页码: 9
作者:
Wang, Jiazhou
;
Liu, Liwei
;
Cao, Axiu
;
Pang, Hui
;
Xu, Chuntao
;
Mu, Quanquan
;
Chen, Jian
;
Shi, Lifang
;
Deng, Qiling
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提交时间:2019/08/26
diffractive optics
gratings
microfabrication
computer holography
High-performance etching of multilevel phase-type Fresnel zone plates with large apertures
期刊论文
Optics Communications, 2018, 卷号: 407, 页码: 227-233
作者:
Guo, C. L.
;
Zhang, Z. Y.
;
Xue, D. L.
;
Li, L. X.
;
Wang, R. Q.
;
Zhou, X. G.
;
Zhang, F.
;
Zhang, X. J.
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提交时间:2019/09/17
Fresnel zone plate
Diffractive optical elements
Etching depth
uniformity
Ion beam etching
Dwell time algorithm
dwell-time algorithm
dielectric gratings
fabrication errors
x-ray
ion
Optics