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一种精密X-Y扫描台的研究 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 02, 页码: 90-93
作者:  张二星
caj(40Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/63  |  提交时间：2013/03/11
X－y扫描台  扫描机构  定位精度