Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种精密X-Y扫描台的研究 | |
张二星 | |
1997-04-30 | |
发表期刊 | 光学精密工程 |
期号 | 02页码:90-93 |
关键词 | X-y扫描台 扫描机构 定位精度 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32439 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张二星. 一种精密X-Y扫描台的研究[J]. 光学精密工程,1997(02):90-93. |
APA | 张二星.(1997).一种精密X-Y扫描台的研究.光学精密工程(02),90-93. |
MLA | 张二星."一种精密X-Y扫描台的研究".光学精密工程 .02(1997):90-93. |
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一种精密X_Y扫描台的研究.caj(40KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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