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射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响 期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 08, 页码: 2167-2172
作者:  王笑夷;  高劲松;  陈红;  王彤彤;  申振峰;  郑宣鸣
caj(641Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：526/151  |  提交时间：2013/03/11
碳化锗  Sp3杂化碳原子  射频功率  衬底温度