| 射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响 |
| 王笑夷 ; 高劲松; 陈红; 王彤彤; 申振峰; 郑宣鸣
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| 2012-08-25
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| 发表期刊 | 红外与激光工程
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| 期号 | 08页码:2167-2172 |
| 关键词 | 碳化锗
Sp3杂化碳原子
射频功率
衬底温度
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28014
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| 专题 | 中科院长春光机所知识产出
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
王笑夷,高劲松,陈红,等. 射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响[J]. 红外与激光工程,2012(08):2167-2172.
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| APA |
王笑夷,高劲松,陈红,王彤彤,申振峰,&郑宣鸣.(2012).射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响.红外与激光工程(08),2167-2172.
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| MLA |
王笑夷,et al."射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响".红外与激光工程 .08(2012):2167-2172.
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文件名：
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射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响.caj
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格式：
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caj
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