Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响 | |
王笑夷 ; 高劲松; 陈红; 王彤彤; 申振峰; 郑宣鸣
| |
| 2012-08-25 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
 |
| 期号 | 08页码:2167-2172 |
| 关键词 | 碳化锗 Sp3杂化碳原子 射频功率 衬底温度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28014 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王笑夷,高劲松,陈红,等. 射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响[J]. 红外与激光工程,2012(08):2167-2172. |
| APA | 王笑夷,高劲松,陈红,王彤彤,申振峰,&郑宣鸣.(2012).射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响.红外与激光工程(08),2167-2172. |
| MLA | 王笑夷,et al."射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响".红外与激光工程 .08(2012):2167-2172. |
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| 射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化（641KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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