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离子辅助沉积法制备SiO_2介质薄膜的应力研究 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1304-1308
作者:  张金胜;  张金龙;  宁永强
caj(494Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：658/165  |  提交时间：2013/03/11
离子辅助沉积  Sio2薄膜  应力  退火