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PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 02, 页码: 54-58
作者:  白兰;  吴一辉;  张平;  王淑荣
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/66  |  提交时间：2013/03/11
微泵  Pdms薄膜  Ndfeb薄片  电磁驱动