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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [2]
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在有机玻璃上射频溅射ITO组合薄膜
期刊论文
光学技术, 2001, 期号: 06, 页码: 501-502
作者:
高劲松
;
孙连春
;
郑宣明
;
王哲
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提交时间:2013/03/11
Ito膜
射频磁控溅射
表面改性
低温成膜
氧离子辅助法沉积ITO透明导电膜的研究
期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 02, 页码: 169-173
作者:
初国强
;
王子君
;
赵家民
;
刘毅南
;
刘云
;
刘星元
;
王立军
caj(120Kb)
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提交时间:2013/03/11
离子辅助沉积
Ito膜
电子束
氧空位
原子力显微镜