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CaF_2晶体及加工技术研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2007, 期号: 2
作者:  段安锋;  范翊;  刘景和;  沈永宏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：603/95  |  提交时间：2012/09/25
Caf2晶体  切割  抛光  晶体加工  
坩埚下降法生长CaF_2单晶的研究 期刊论文
人工晶体学报, 2006, 期号: 6
作者:  段安锋;  范翊;  罗劲松;  关树海;  沈永宏;  刘景和
caj(291Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：507/99  |  提交时间：2012/09/25
Caf2晶体  下降法  位错蚀坑  光谱  
157nm紫外光刻设备用光学材料研究进展 期刊论文
材料导报, 2003, 期号: 06, 页码: 34-36
作者:  臧春雨;  曹望和;  石春山
caj(186Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/81  |  提交时间：2013/03/11
半导体制造业  157nm紫外光刻技术  Caf_2晶体  双折射  
大型CaF_2单晶生长和评价 期刊论文
人工晶体学报, 1991, 期号: 01, 页码: 46-54
作者:  崔承甲;  小川智哉
caj(2978Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：424/61  |  提交时间：2013/03/11
Caf_2晶体  退火  光散射体  包裹体  负晶体  Cao  Cas  位错分布  亚晶格  熔化  Rap法  布里奇曼法