Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| CaF_2晶体及加工技术研究 | |
段安锋; 范翊 ; 刘景和; 沈永宏
| |
| 2007-06-15 | |
| 发表期刊 | 长春理工大学学报(自然科学版)
 |
| ISSN | 1672-9870 |
| 期号 | 2 |
| 摘要 | 随着深紫外准分子激光光刻技术的发展,所用CaF2光学晶体镜头材料的加工对传统的冷加工技术提出了挑战。本文结合CaF2晶体的基本性质,对其加工技术进行了极大的改进。通过控制合适的工艺参数,采用特殊的加工方法可以加工出高质量的CaF2光学晶体。 |
| 关键词 | Caf2晶体 切割 抛光 晶体加工 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21292 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段安锋,范翊,刘景和,等. CaF_2晶体及加工技术研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2007(2). |
| APA | 段安锋,范翊,刘景和,&沈永宏.(2007).CaF_2晶体及加工技术研究.长春理工大学学报(自然科学版)(2). |
| MLA | 段安锋,et al."CaF_2晶体及加工技术研究".长春理工大学学报(自然科学版) .2(2007). |
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| CaF_2晶体及加工技术研究.caj（194KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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