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大型衍射光栅刻划机控制系统研究 期刊论文
中国科学技术大学学报, 2011, 期号: 06, 页码: 560-564
作者:  刘栋材;  申远;  钟俊;  齐向东;  于海利;  竺长安
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高精度光栅  机械结构  控制系统  定制负荷  
复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析 期刊论文
中国光学与应用光学, 2008, 期号: Z1
作者:  苏东风;  续志军;  韩旭东
caj(145Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/92  |  提交时间：2012/09/25
高精度光栅  挠度  厚度