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基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  吕强
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精密测量  衍射光栅  多维度  大量程  误差分析  外差测量  Littow结构  
电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 455-462
作者:  王少鑫;  齐克奇;  王玉坤;  王智;  陈立恒
caj(2680Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:550/77  |  提交时间:2020/08/24
惯性传感器  敏感结构  电极不对称  量程