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正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究 期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: 06, 页码: 666-668
作者:  王占山;  曹健林;  马月英;  陈星旦
caj(220Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：428/67  |  提交时间：2013/03/11
显微成像系统:7213  多层膜:5748  软x射线:2657  Ｘ射线:1532  正入射:1527  实验研究:1060  反射镜:843  激光等离子体光源:763  工作波长:633  极限分辨率:597