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扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域应用的研究进展 期刊论文
材料导报, 2014, 期号: 23, 页码: 28-33
作者:  陈芳;  魏志鹏;  刘国军;  唐吉龙;  房丹;  方铉;  高娴;  赵海峰;  王双鹏
caj(459Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：575/134  |  提交时间：2015/04/17
扫描近场光学显微技术  半导体材料  超高空间高分辨率