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激光调阻预置式变速光刻控制 期刊论文
光机电信息, 2007, 期号: 1
作者:  孙继凤;  汤建华
caj(214Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/82  |  提交时间：2012/09/25
激光调阻  预置式控制  变速控制  调阻速度  调阻精度  
激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析 期刊论文
应用激光, 2004, 期号: 03, 页码: 139-141
作者:  孙继凤;  汤建华;  郭晓光
caj(25Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：467/74  |  提交时间：2013/03/11
光斑重叠率  激光功率  调q频率  调阻速度  调阻精度