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用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构 期刊论文
哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 03, 页码: 310-312
作者:  刘伟;  张景和
caj(176Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/79  |  提交时间：2013/03/11
激光直接写入设备  纳米分辨力  调焦伺服机构