Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构 | |
刘伟 ; 张景和
| |
| 2004-03-30 | |
| 发表期刊 | 哈尔滨工业大学学报
 |
| 期号 | 03页码:310-312 |
| 关键词 | 激光直接写入设备 纳米分辨力 调焦伺服机构 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29708 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘伟,张景和. 用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构[J]. 哈尔滨工业大学学报,2004(03):310-312. |
| APA | 刘伟,&张景和.(2004).用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构.哈尔滨工业大学学报(03),310-312. |
| MLA | 刘伟,et al."用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构".哈尔滨工业大学学报 .03(2004):310-312. |
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| 用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构（176KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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