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碳化硅表面硅改性层的特性研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2012, 期号: 03, 页码: 141-145
作者:  张峰;  范镝;  高劲松
caj(2022Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：583/118  |  提交时间：2013/03/11
光学表面  碳化硅  表面改性  离子束辅助沉积  表面粗糙度  表面反射率