Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
碳化硅表面硅改性层的特性研究 | |
张峰; 范镝; 高劲松 | |
2012-03-10 | |
发表期刊 | 激光与光电子学进展 |
期号 | 03页码:141-145 |
关键词 | 光学表面 碳化硅 表面改性 离子束辅助沉积 表面粗糙度 表面反射率 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28062 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张峰,范镝,高劲松. 碳化硅表面硅改性层的特性研究[J]. 激光与光电子学进展,2012(03):141-145. |
APA | 张峰,范镝,&高劲松.(2012).碳化硅表面硅改性层的特性研究.激光与光电子学进展(03),141-145. |
MLA | 张峰,et al."碳化硅表面硅改性层的特性研究".激光与光电子学进展 .03(2012):141-145. |
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