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亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作 期刊论文
光子学报, 2003, 期号: 06, 页码: 653-656
作者:  曹召良;  陆广;  王吉增;  杨柏;  卢振武;  李凤有;  任智斌;  刘玉玲
caj(67Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：506/123  |  提交时间：2013/03/11
离子束刻蚀  亚微米  离子能量  束流密度  刻蚀速率  表面光洁度  
圆弧刃车削判定及光洁度数值图解 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1987, 期号: 02, 页码: 7-11
作者:  熊大章;  张献平
收藏  |  浏览/下载：612/0  |  提交时间：2013/03/11
表面光洁度:5731  圆弧刃:5510  图解:2498  判定式:2443  超精密车削:2437  计算式:2322  车刀几何参数:2037  刀尖:1800  使用方法:1743  进给量:1672