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纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 06, 页码: 83-87
作者:  马建旭;  吴清文;  卢锷;  文大化;  李成发
caj(59Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：711/84  |  提交时间：2013/03/11
有限元法  纵弯式压电微电机  微电子机械系统  自然频率