Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算 | |
马建旭; 吴清文; 卢锷; 文大化 ; 李成发
| |
| 1997-12-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 06页码:83-87 |
| 关键词 | 有限元法 纵弯式压电微电机 微电子机械系统 自然频率 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30925 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马建旭,吴清文,卢锷,等. 纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算[J]. 光学精密工程,1997(06):83-87. |
| APA | 马建旭,吴清文,卢锷,文大化,&李成发.(1997).纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算.光学精密工程(06),83-87. |
| MLA | 马建旭,et al."纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算".光学精密工程 .06(1997):83-87. |
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