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运用光蚀刻技术制造金属光栅盘 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 85-90
作者:  金轸裕
caj(184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：445/119  |  提交时间：2013/03/11
光蚀刻  光化学加工  光致抗蚀剂  金属光栅盘  腐蚀因子