CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
运用光蚀刻技术制造金属光栅盘
金轸裕
1996-06-30
发表期刊光学精密工程
期号03页码:85-90
关键词光蚀刻 光化学加工 光致抗蚀剂 金属光栅盘 腐蚀因子
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30779
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
金轸裕. 运用光蚀刻技术制造金属光栅盘[J]. 光学精密工程,1996(03):85-90.
APA 金轸裕.(1996).运用光蚀刻技术制造金属光栅盘.光学精密工程(03),85-90.
MLA 金轸裕."运用光蚀刻技术制造金属光栅盘".光学精密工程 .03(1996):85-90.
条目包含的文件 下载所有文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
运用光蚀刻技术制造金属光栅盘.caj(184KB) 开放获取--浏览 下载
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[金轸裕]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[金轸裕]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[金轸裕]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: 运用光蚀刻技术制造金属光栅盘.caj
格式: caj
此文件暂不支持浏览
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。