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微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究 期刊论文
光学精密工程, 2002, 期号: 03, 页码: 271-275
作者:  宋文荣;  于国飞;  孙宝玉;  王延风;  何惠阳
caj(46Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：480/102  |  提交时间：2013/03/11
磁悬浮  定位平台  线性电机  无接触驱动  Hopf分叉