Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究 | |
| 宋文荣; 于国飞; 孙宝玉; 王延风; 何惠阳 | |
| 2002-06-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 03页码:271-275 |
| 关键词 | 磁悬浮 定位平台 线性电机 无接触驱动 Hopf分叉 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30151 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋文荣,于国飞,孙宝玉,等. 微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究[J]. 光学精密工程,2002(03):271-275. |
| APA | 宋文荣,于国飞,孙宝玉,王延风,&何惠阳.(2002).微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究.光学精密工程(03),271-275. |
| MLA | 宋文荣,et al."微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究".光学精密工程 .03(2002):271-275. |
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