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绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法 期刊论文
机电产品开发与创新, 2015, 期号: 04, 页码: 92-93+96
作者:  郑黎明
caj(584Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：273/115  |  提交时间：2016/07/06
绝对式光栅尺  精度检测  激光干涉仪  精度修正