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微通道热沉标准单元制作的SEM观察 期刊论文
电子显微学报, 2000, 期号: 04, 页码: 587-588
作者:  王晓华;  张宝顺;  王玉霞;  任大翠;  张兴德
caj(33Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:508/124  |  提交时间:2013/03/11
微通道结构:5798  标准单元:5527  半导体激光器:3149  Sem观察:3000  国家重点实验室:2287  高功率:2245  热沉:1741  精密机械:1309  冷却器:1010  硅微通道:926  
二维激光扫描开环动态检测 期刊论文
测试技术学报, 1994, 期号: 01, 页码: 22-26
作者:  田雯;  安志勇
caj(148Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:378/56  |  提交时间:2013/03/11
激光扫描:6899  动态检测系统:6382  步进电机驱动:2570  开环:1375  精密机械:926  闭环检测:891  几何尺寸测量:693  定位误差:626  控制系统:571  测试技术:559