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全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者:  张春雷;  徐乐;  刘健;  马占龙;  王飞;  谷永强;  代雷;  彭石军
caj(596Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：464/143  |  提交时间：2017/09/17
氟化钙  投影光刻物镜  精密光学加工  亚纳米精度加工  离子束修形(Ibf)