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用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征 期刊论文
红外, 2011, 期号: 08, 页码: 8-11
作者:  单兆会;  高劲松;  王彤彤;  申振峰;  陈红
caj(568Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：600/100  |  提交时间：2013/03/11
低压反应离子镀  类金刚石薄膜  拉曼光谱  显微硬度